此系列扫描模块针对那些需要多种定位和操作步骤的激光加工应用进行优化。 应用领域: 1:电路板钻孔 2:金属薄片打孔 3:表面纹理处理 型号参数 intelliDRILL? 20 intelliDRILLde? 20 intelliDRILL? 30 intelliDRILLde? 30 所有的角度都是光学角度 入光孔径 20 mm 20 mm 30 mm 30 mm 光束偏移 24.53 mm 24.53 mm 37.12 mm 37.12 mm 阶跃响应 1 mm pitch 0.43 ms 0.43 ms 0.6 ms 0.6 ms 10 mm pitch 1.5 ms 1.5 ms 2.0 ms 2.0 ms 1mm光栅的通过频率 2300 Hz 2300 Hz 1600 Hz 1600 Hz 位置分辨率 2.8 μrad 1.3 μrad 2.8 μrad 0.83 μrad 长时间漂移(8小时) < 0.6 mrad < 0.1 mrad < 0.6 mrad < 0.1 mrad 线性度 < 3.5 mrad < 0.5 mrad < 3.5 mrad < 0.5 mrad 重量 3 kg 3 kg 4 kg 4 kg 通用参数 所有角度都是光学角度 动态性能 重复精度 < 2μrad 光学性能 扫描角度 ±0.26 rad 增益误差 < 5 mrad 零点误差 < 5 mrad 电气要求 ±48 V DC, 4 A 或者 ±24 V DC, 4 A 接口定义 SL2-100 (20 bit) 或者 XY2-100增强型 (16 bit) 运行温度 25 °C ± 10 °C 冷却水 温度 20 - 25 °C 温度偏移幅度 ±1K